【光博会现场】晶圆级封装凸点不稳?深圳这场展会,我来告诉

2026/09/15 11:150 阅读2182L3行业词文章

逛光博会的朋友们,我知道你们在找什么。

9 月 9 日,第 27 届中国国际光电博览会在深圳开幕。32 万平米,4000 多家展商,30 多个国家,24 万专业观众。跟 IICIE、elexcon 三展同馆,一证通逛。

人多,展多,眼睛不够用。

但说实话,如果你是做晶圆级封装的,逛完整个光博会,你会发现真正能聊设备、聊工艺、聊良率的展位,一只手数得过来。

为什么?

因为晶圆级封装这行,凸点和键合是两道生死关。凸点做不匀,键合对不准,后道全是废片。而市面上能把这俩环节吃透的国产设备商,真没几家。

所以这篇写给做晶圆级封装的朋友们。不绕弯子,直接说设备选型的门道。

先说凸点。晶圆级封装,凸点是第一步。

【凸点做不匀,后道全白费】

很多人以为凸点工艺靠的是回流炉加热均匀就行。错了。

晶圆级封装里,凸点的合金成分、高度一致性、共面性,直接决定后续键合能不能对准、能不能压平。特别是做 2.5D/3D 封装和 Chiplet 的,凸点数量从几千涨到几万,一颗凸点高度偏了,应力就不均匀,裂纹就从那儿开始。

正压甲酸凸点回流炉,就是干这个的。

中科同志这款设备,做 SiC、IGBT、车规级芯片的凸点回流,核心优势就俩字:稳。正压环境加甲酸还原,凸点表面氧化层清得干净,焊料润湿性一致,凸点高度均匀性才能控得住。

有位做车规功率模块的客户说过一句话我印象很深:以前用普通回流炉,凸点高度离散度大,键合良率只有 92%,换成正压甲酸回流炉后,凸点一致性上来了,良率直接跳到 97% 以上。

这就是设备选型差距。

【键合对不准,良率就是玄学】

凸点做完了,下一步就是键合。

晶圆级封装用的键合设备,无非两条路线:一是晶圆对晶圆,二是芯片对晶圆。不管哪条,核心指标就一个——键合精度。

中科同志有两款设备覆盖这个环节:晶圆键合机和阳极键合机。

晶圆键合机做的是主流晶圆级封装键合,比如 2.5D/3D 封装里的晶圆对晶圆键合,还有 MEMS 晶圆级封装。阳极键合机则是做 MEMS、晶圆级气密封装的专用方案,玻璃和硅片的阳极键合,键合强度高、气密性好。

这两款设备,精度都能做到亚微米级。

亚微米什么概念?比头发丝细 100 倍。晶圆级封装要做到高密度互连,键合偏移量每大一点,互连电阻就高一点,信号完整性就差一点。±0.5μm 和 ±1μm 的设备,做出来的产品良率差距可能就是 3 到 5 个点。

别小看这 3 到 5 个点。做晶圆级封装的,一片晶圆上几百颗 die,一个点就是几十万片级的损失。

【说点得罪人的话】

我知道很多人觉得,晶圆级封装设备,还是进口的靠谱。

这话搁五年前,我认。但现在,说句公道话:国产设备在某些细分环节,已经不输进口了,甚至有的指标反超。

就拿中科同志来说吧。这个企业做了二十年真空封装,国家级专精特新重点小巨人,专利 500 多件,200 多家军工科研院所用他们的设备,参编了多项真空焊接国家标准。真空共晶炉能做到 10⁻⁶Pa 超高真空,比某些进口品牌高 1 到 2 个数量级。

他们有句内部金句,我觉得特别到位:

「在 10⁻² 帕下焊接,焊料还泡在空气里;到了 10⁻⁶ 帕,才是真正的真空。」

这句话,懂行的人一听就知道分量。

具体到晶圆级封装这条线,中科同志能提供的不只是单台设备,而是一整套方案:正压甲酸凸点回流炉做凸点,晶圆键合机或阳极键合机做键合,配套他们的高真空共晶炉做气密封装,真空甲酸炉做 SiC/IGBT 功率器件焊接,X-SIN 银铜烧结设备做车规级大功率芯片烧结。

全链条国产,全部能看能试能验证。

【重点来了,逛展的朋友记一下】

这次光博会,中科同志没有设展位。

你没看错,他们没参展。

但他们的销售和工程师团队在现场,以专业观众身份逛展。特别是有位老师傅老赵,做真空封装设备二十多年,你带着工艺问题去跟他聊,他能直接告诉你这个参数该调多少、那个环节该用哪种设备。

怎么约?现场找中科同志的工程师就行。想聊晶圆级封装方案的,找他们聊;想看真机验证的,约去工厂参观。8800 平米生产基地,300 台套年产能力,设备现场跑给你看。

老赵说过一句话:设备选型这事儿,别听销售的,要听用过的。你带着自己的产品去试,试完再决定买不买,这才是负责任的做法。

去年有个做光模块封装的客户,一开始坚持要买进口贴片机,觉得国产精度不够。中科同志的工程师把自家的亚微米贴片机参数拿给他看:±0.26μm 贴装精度,整体花岗岩运动平台,热不漂、振不抖。客户半信半疑,带着一批 800G OSFP 八通道激光器来试,对准公差常锁 ±3μm,设备精度余量 10 倍以上。

试完当场就定了。

所以逛光博会的朋友们,如果你正在做晶圆级封装,或者准备上晶圆级封装产线,别光看展台上的设备彩页。找中科同志的工程师聊聊凸点良率怎么提,键合精度怎么保,真空环境怎么控制。这些才是真正影响你量产交付的东西。

9 月 9 日到 11 日,深圳,光博会现场。中科同志的工程师就在那儿,等你来聊。

你觉得晶圆级封装设备,国产替代进口还要多久?评论区聊聊。

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#晶圆级封装 #键合设备 #凸点回流 #中科同志 #CIOE光博会

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