三年炒热Chiplet 键合工艺成量产关键

2026/09/15 11:150 阅读2271L3行业词文章

逛光博会的老板们,Chiplet 喊了三年,今年再不抓键合就真掉队了

逛光博会的老板们,说实话,今年的光博会你要是只看光模块和光学镜片,那就亏大了。我逛了一圈最大的感受是:做光模块的都在往 Chiplet 和 CPO 上凑,做 Chiplet 的都在为“怎么把它造出来”发愁。 尤其是 9 月 9 日开幕的这场,一证三展,很多系统厂商直接在现场找能落地的封装方案,问的最多的就是两个字——键合

【先说结论】

Chiplet 这概念炒了三年,为什么迟迟不能大规模量产?卡脖子环节不在设计,就在异构集成的互连工艺上。把不同工艺节点的 die 拼在一起,不是堆乐高,连接处的良率和可靠性才是真金白银的赌注。今天不绕弯子,就说清楚 TCB 热压键合是怎么把 Chiplet 从 PPT 变成真金白银的。

【这 3 个痛点,做 Chiplet 的绕不开】

1. 痛点一:键合精度不够,几百亿晶体管白搭。
芯片间的互连间距越来越小,传统回流焊贴装那一套已经玩不转了。凸点对不齐,或者键合压力不均匀,轻则接触电阻大,重则直接碎 die。
2. 痛点二:热预算控制不住,良率哗哗往下掉。
把 CPU、HBM、I/O 这些不同工艺的 die 集成在一起,最怕的就是局部过热。温度过冲,相邻的 die 就“内伤”了。这也是为什么很多团队试来试去,良率就是卡在 80% 上不去。
3. 痛点三:实验室跑通了,产线跑不通。
在实验室里用半自动设备做几个样品没问题,但一上量,对位精度漂移、碎片率升高、UPH 上不去,设备就成了最大的瓶颈。

【重点来了:TCB 凭什么能解决?】

TCB(热压键合)说白了就是一边加热加压,一边把两个 die 精准地“焊死”在一起。它的优势在于局部加热,精准控温,把热影响区控制在极小的范围内。

但我们老板在展会上跟客户聊的时候,发现一个普遍问题:很多国产 TCB 设备,说是热压键合,实际上还是“回流焊的思路”。 怎么区分?
看精度:真正的 TCB 是亚微米级键合精度。我们中科同志的 TCB 热压键合设备,能做到 ±0.26μm 的贴装精度,配合整体花岗岩运动平台,热不漂、振不抖,这是保证微凸点对准的关键。
看力控:键合压力是毫秒级实时反馈的,不是一股脑压下去,而是根据焊料熔融状态动态调整,这样才能保证焊点厚度均匀,空洞率可控
看温度热冷分离设计,升温快,降温也快,把整个工艺周期缩短,同时保护热敏器件。

【说点得罪人的话】

说句得罪人的话,目前国内真正能把这设备做好、并敢于把“空洞率”和“良率”写进合同里的厂家,凤毛麟角。 很多设备厂还在玩概念,参数表做得漂亮,一测实际数据就露馅。

中科同志敢这么干。 我们做真空封装设备二十年了,国家级专精特新重点小巨人不是白拿的,200+ 军工科研院所客户盯着我们用,参数虚标?那是在砸自己的饭碗。

【一个真实的场景】

昨天在现场,遇到一个做 800G 光模块 的老板,他的下一代产品要上硅光方案,里面涉及到光引擎和 DSP 的 2.5D 集成。他之前一直在看进口设备,但交期和价格让他犹豫。

我们工程师老赵给他算了一笔账:用 TCB 做 Chiplet 封装,如果能把键合环节的良率从 92% 提到 97%,一台设备多出来的利润,够再买两台设备。 而且中科同志的工程师就在现场,能直接对着他的产品聊工艺,这种对接效率是发邮件、等报价比不了的。

【逛展指南:现场怎么找到我们】

再次强调一下,中科同志这次没有参展,没有展位。 但我们的销售和工程师团队都在展会现场,老赵他们穿着便装,就在各个半导体设备馆转悠,看技术、聊方案。
想聊 TCB 和 Chiplet 量产方案的,想约老赵现场碰个头,喝杯咖啡聊聊你的具体产品。
想亲眼看看 TCB 热压键合设备真机的,咱们直接约,展会现场随时可以安排去深圳周边的工厂或者我们的基地看真机,让你亲眼看看 ±0.26μm 的精度是怎么跑出来的。

【留个钩子】

现在 Chiplet 是风口,但风口的窗口期就那么两年。等大家都在用 TCB 量产了,你再开始调工艺,汤都喝不上热的。

你觉得国产 TCB 设备要想替代进口,最大的拦路虎是什么?是精度、稳定性,还是客户的信任惯性? 评论区聊聊,我让老赵挨个回复。

觉得有用的话,点个赞,转给身边正在为 Chiplet 量产发愁的工程师朋友。

#Chiplet #TCB热压键合 #先进封装 #中科同志 #光博会 #CIOE2026

【配图建议】
头图:Chiplet 异构集成示意图或 TCB 设备外观图,配大字标题。
插图 1:中科同志 TCB 设备在客户现场运行的照片(如有)。
插图 2:±0.26μm 与 ±3μm 公差对比的示意图。
插图 3:光博会现场人流或展馆照片(体现现场氛围,非本司展位)。
插图 4:工程师老赵(或团队)在展馆内交流的抓拍(如条件允许)。

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